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申请/专利权人:江阴纳力新材料科技有限公司
摘要:本实用新型提供一种加热蒸发装置。所述加热蒸发装置包括坩埚、至少一个进料箱、加热线圈和电源,所述坩埚与所述进料箱之间设有运输带,所述坩埚外壁上套设有加热线圈,所述加热线圈与所述电源电连接;其中,所述运输带将所述进料箱中的原料运输至所述坩埚中,通过所述加热线圈将所述坩埚内的原料进行加热蒸发。本实用新型通过在坩埚与进料箱之间设置运输带,将原料自动从进料箱运输至坩埚中,降低了人工运送成本;在坩埚外壁上套设加热线圈,能够提高加热效率、降低加热成本,还能改善改善溅铝的情况。
主权项:1.一种加热蒸发装置,其特征在于,包括坩埚1、至少一个进料箱2、加热线圈3和电源4,所述坩埚1与所述进料箱2之间设有运输带5,所述坩埚1外壁上套设有加热线圈3,所述加热线圈3与所述电源4电连接;其中,所述运输带5将所述进料箱2中的原料运输至所述坩埚1中,通过所述加热线圈3将所述坩埚1内的原料进行加热蒸发。
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