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冷却系统及冷却方法 

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申请/专利权人:台湾积体电路制造股份有限公司

摘要:本揭示提供了一种冷却系统及冷却方法。此系统包括贮槽、导管、冷却器、及浓度计。贮槽用以容纳第一液体。导管耦接到贮槽并且用以从贮槽递送第一液体。冷却器覆盖导管以冷却由导管递送的第一液体。浓度计用以量测由冷却器冷却的第一液体的浓度。

主权项:1.一种冷却系统,其特征在于,包含:一清洁装置,包含:一贮槽,用以容纳处于一第一温度的一第一液体;以及一管道,耦接到该贮槽,其中该第一液体在该管道及该贮槽内部循环流动;至少一个空气阀门,耦接到该管道,其中该清洁装置用于将该至少一空气阀门的空气递送到该冷却器;以及一浓度量测装置,包含:一导管,耦接到该管道并用以从该管道递送该第一液体;一冷却器,完全覆盖该导管以冷却由该导管递送的该第一液体至一第二温度;一浓度计,用以量测由该冷却器冷却至该第二温度的该第一液体的一浓度;以及一风扇,设置在该浓度计的一侧面以冷却该浓度量测装置,其中该导管更用以在将该第一液体冷却到该第二温度之后,将该第一液体递送到该浓度计,以及该至少一个空气阀门将该空气递送到该冷却器以冷却该第一液体。

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权利要求:

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