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申请/专利权人：苏州微光电子融合技术研究院有限公司
摘要：本发明涉及一种窄带波导集成红外探测器，包括：第一光波导，第一光波导上沉积有二氧化硅薄膜，所述二氧化硅薄膜上成型有第二光波导，所述二氧化硅薄膜上设有底电极，所述底电极覆盖在第二光波导上，所述底电极上位于第二光波导的正上方覆盖有第一胶体量子点薄膜，所述第一胶体量子点薄膜上覆盖有顶电极，所述顶电极另一端延伸至二氧化硅薄膜上，所述第二光波导上还设置有第二胶体量子点薄膜。通过第一胶体量子点薄膜以及第二胶体量子点薄膜配合，实现光波导中的光从第二胶体量子点薄膜向第一胶体量子点的方向传播，再通过第一胶体量子点薄膜将第一胶体量子点薄膜和第二胶体量子点薄膜吸收带边之间的红外光转换为光电流，实现窄带探测。
主权项：1.一种窄带波导集成红外探测器，其特征在于，包括：第一光波导，所述第一光波导上沉积有二氧化硅薄膜，所述二氧化硅薄膜上成型有第二光波导，所述二氧化硅薄膜上设有底电极，所述底电极覆盖在第二光波导上，所述底电极上位于第二光波导的正上方覆盖有第一胶体量子点薄膜，所述第一胶体量子点薄膜上覆盖有顶电极，所述顶电极另一端延伸至二氧化硅薄膜上，所述第二光波导上还设置有第二胶体量子点薄膜。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州微光电子融合技术研究院有限公司 一种窄带波导集成红外探测器、制备方法及其应用
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