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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
摘要：本申请提供了一种晶圆存取异常的检测方法、装置、设备及可读存储介质，方法包括：基于机械臂的执行动作确定待检测图像和包括特征提取模块、特征组合模块、矫正模块和异常检测模块的目标检测模型；将待检测图像输入到特征提取模块，获得第一特征数据集合；将第一特征数据集合输入到特征组合模块，获得特征数据组；通过矫正模块的生成对抗网络对特征数据组进行数据矫正处理，获得矫正后的特征数据组；若通过异常检测模块根据矫正后的特征数据组和特征数据组确定特征数据组内存在异常像素点，则生成存取异常的检测结果。本申请通过执行动作确定待检测图像和目标检测模型，且基于目标检测模型检测晶圆存取是否异常，提高检测准确性。
主权项：1.一种晶圆存取异常的检测方法，其特征在于，应用于晶圆测试系统的服务器，所述晶圆测试系统包括所述服务器、晶圆、用于存放所述晶圆的料箱和与所述服务器通信连接的机械臂，所述方法包括：基于所述机械臂的执行动作确定待检测图像和目标检测模型，所述执行动作表征所述机械臂从所述料箱抓取所述晶圆或者将所述晶圆置入所述料箱的动作，所述目标检测模型包括特征提取模块、特征组合模块、矫正模块和异常检测模块；将所述待检测图像输入到所述特征提取模块，通过所述特征提取模块对所述待检测图像进行处理得到第一特征数据集合，所述第一特征数据集合包括不同特征数据，每个所述特征数据包括图像宽度、图像长度和图像通道数，且每个所述特征数据的图像宽度为预设图像宽度，以及每个所述特征数据的图像长度为预设图像长度；将所述第一特征数据集合输入到所述特征组合模块，通过所述特征组合模块对所述第一特征数据集合内特征数据进行组合，获得特征数据组，所述特征数据组的图像通道数为所述第一特征数据集合内各个特征数据的图像通道数之和；将所述特征数据组输入到所述矫正模块，通过所述矫正模块的生成对抗网络对所述特征数据组进行数据矫正处理，获得矫正后的特征数据组；将所述矫正后的特征数据组和所述特征数据组输入到所述异常检测模块，若通过所述异常检测模块确定所述特征数据组内存在异常像素点，则生成所述晶圆存取异常的检测结果。
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权利要求：
百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 晶圆存取异常的检测方法、装置、设备及可读存储介质
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