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申请/专利权人：株式会社三丰
摘要：一种工件检查和缺陷检测系统包括：光源；透镜，所述透镜输入由工件的表面引起的图像光；以及相机，所述相机接收沿着成像光路透射的成像光。所述系统利用用所述相机获取的工件的图像作为训练图像来训练缺陷检测部分以检测包括具有缺陷的工件的缺陷图像。基于所述训练图像的特征来确定异常检测器分类特性。用所述相机获取工件的运行模式图像，并且基于从所述图像中确定的特征，利用所述异常检测器分类特性来确定所述工件的图像是否被分类为异常的。另外，所述缺陷检测部分确定图像是否是包括具有缺陷的工件的缺陷图像，并且对其可执行附加操作例如，用于测量所述缺陷的尺寸的量测操作等。
主权项：1.一种工件检查和缺陷检测系统，包括：光源；透镜，所述透镜输入由被所述光源照射的工件的表面引起的图像光，并且沿着成像光路透射所述图像光；相机，所述相机接收沿着所述成像光路透射的成像光并且提供所述工件的图像；一个或多个处理器；以及存储器，所述存储器耦合到所述一个或多个处理器并且存储程序指令，所述程序指令当由所述一个或多个处理器执行时使所述一个或多个处理器至少：获取多个训练图像，其中所述多个训练图像中的至少一些被用于训练缺陷检测部分；从所述多个训练图像中确定多个训练图像特征；至少部分地基于所述确定的训练图像特征来确定多个异常检测器分类特性；利用所述相机来获取工件的第一运行模式图像；从所述工件的第一运行模式图像中确定多个特征；以及至少部分地基于从所述工件的第一运行模式图像中确定的特征，利用所述异常检测器分类特性来确定所述工件的第一运行模式图像是否将被分类为异常的并且因此不适合于缺陷检测过程；利用所述异常检测器分类特性来确定工件的第二运行模式图像将被分类为非异常并且因此适合于缺陷检测过程；和利用所述缺陷检测部分来分析所述第二运行模式图像以确定所述工件的所述第二运行模式图像是否将被分类为包括所述工件的缺陷的缺陷图像。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 株式会社三丰 包括监视工件图像的工件检查和缺陷检测系统
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