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申请/专利权人:株式会社新克
摘要:本发明提供一种即使在腐蚀之际的摆动范围以外,被处理滚筒的滚筒整面也不会产生因蚀刻造成的不均,从而能够得到比以往更均匀的蚀刻精度的滚筒用腐蚀装置以及方法。滚筒用腐蚀装置包括处理槽、夹持机构、至少一个腐蚀液供给管、以及用于从所述腐蚀液供给管喷雾出腐蚀液的多个喷雾嘴,所述滚筒用腐蚀装置使所述腐蚀液一边摆动一边接触于所述被处理滚筒的表面,从而对所述被处理滚筒的表面实施腐蚀,其中,所述喷雾嘴为能够喷雾出椭圆形喷雾图案的椭圆形喷雾嘴,多个椭圆形喷雾图案一边摆动一边喷雾至所述被处理滚筒的表面,所述椭圆形喷雾图案的椭圆形的长轴形成为相对于所述被处理滚筒的长边方向的中心轴倾斜。
主权项:1.一种滚筒用腐蚀装置,包括:处理槽;夹持机构,其把持被处理滚筒的长边方向两端而将所述被处理滚筒以能够旋转的方式收容于所述处理槽;至少一个腐蚀液供给管,其以与所述被处理滚筒的长边方向外周面相距规定距离的方式设置,且与所述长边方向外周面平行,能够沿所述被处理滚筒的轴向摆动;以及多个喷雾嘴,其并排地设置于所述腐蚀液供给管,用于从所述腐蚀液供给管喷雾出腐蚀液,所述滚筒用腐蚀装置使通过所述腐蚀液供给管的内部并从喷雾嘴喷雾出的所述腐蚀液一边摆动一边接触于所述被处理滚筒的表面,从而对所述被处理滚筒的表面实施腐蚀,其中,所述喷雾嘴为能够喷雾出椭圆形喷雾图案的椭圆形喷雾嘴,多个椭圆形喷雾图案一边摆动一边喷雾至所述被处理滚筒的表面,所述椭圆形喷雾图案的椭圆形的长轴形成为相对于所述被处理滚筒的长边方向的中心轴倾斜,附着于所述被处理滚筒的表面且在所述被处理滚筒的表面上被带动的腐蚀液的流向沿着所述被处理滚筒的长边方向,且向倾斜地形成的所述椭圆形喷雾图案所倾斜的一侧流动。
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