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申请/专利权人：济南量子技术研究院;合肥国家实验室
摘要：本实用新型属于坩埚技术领域，特别是涉及一种坩埚盖及坩埚。坩埚盖包括坩埚盖主体、第一挡板和第二挡板，坩埚盖主体用于可拆卸连接在坩埚本体上；坩埚盖主体具有向着坩埚本体凹陷的容纳腔，第一挡板和第二挡板可拆卸连接在容纳腔内，坩埚盖主体上设置至少一个第一孔，第一孔与容纳腔连通，第一挡板上设置有至少一个第二孔，第二挡板上设置有至少一个第三孔，第一孔、第二孔和第三孔连通，以形成用于蒸发料溢出的通道。本实施例中，通过将坩埚盖主体可拆卸连接在坩埚本体上，方便坩埚盖主体的拆装，减少坩埚盖主体牢固粘连在坩埚本体上的情况。
主权项：1.一种坩埚盖，其特征在于，包括坩埚盖主体、第一挡板和第二挡板，所述坩埚盖主体用于可拆卸连接在坩埚本体上；所述坩埚盖主体具有向着所述坩埚本体凹陷的容纳腔，所述第一挡板和所述第二挡板可拆卸连接在所述容纳腔内，所述坩埚盖主体上设置至少一个第一孔，所述第一孔与所述容纳腔连通，所述第一挡板上设置有至少一个第二孔，所述第二挡板上设置有至少一个第三孔，所述第一孔、所述第二孔和所述第三孔连通，以形成用于蒸发料溢出的通道。
全文数据：
权利要求：
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