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申请/专利权人：上海新傲科技股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种晶圆抛光设备。所述晶圆抛光设备包括：抛盘，所述抛盘具有第一窗口，所述第一窗口内嵌入有第一挡片，所述第一挡片设置有第一排气孔；抛光垫，所述抛光垫设置在所述抛盘的表面，所述抛光垫在与所述第一窗口对应的位置具有第二窗口，所述第二窗口内嵌入有第二挡片，所述抛光垫用于放置待抛光的晶圆。上述技术方案在所述第一窗口嵌入第一排气孔，通过所述第一排气孔能够将所述第一窗口与所述第二窗口之间的空气排出，避免了晶圆抛光过程中所述第二窗口由于空气压力产生鼓包而划伤晶圆的情况。
主权项：1.一种晶圆抛光设备，其特征在于，包括：抛盘，所述抛盘具有第一窗口，所述第一窗口内嵌入有第一挡片，所述第一挡片设置有第一排气孔；抛光垫，所述抛光垫设置在所述抛盘的表面，所述抛光垫在与所述第一窗口对应的位置具有第二窗口，所述第二窗口内嵌入有第二挡片，所述抛光垫用于放置待抛光的晶圆。
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权利要求：
百度查询： 上海新傲科技股份有限公司 晶圆抛光设备
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