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申请/专利权人:隆基绿能科技股份有限公司
摘要:本实用新型实施例提供了一种单晶炉保温热场和单晶炉用热场,包括:保温筒、保护筒、第一加热器以及用于容纳硅料的坩埚;其中,所述保温筒环绕所述坩埚设置;所述保温筒与所述坩埚相对的内壁上设置有凹槽,所述凹槽的槽口朝向所述坩埚;所述第一加热器设置于所述凹槽内;所述保护筒设置于所述第一加热器和所述坩埚之间,并将所述第一加热器封堵于所述凹槽内。所述保护筒可以隔断气流冲刷腐蚀所述第一加热器,提升所述第一加热器的使用寿命。
主权项:1.一种单晶炉保温热场,其特征在于,包括:保温筒、保护筒、第一加热器以及用于容纳硅料的坩埚;其中,所述保温筒环绕所述坩埚设置;所述保温筒与所述坩埚相对的内壁上设置有凹槽,所述凹槽的槽口朝向所述坩埚;所述第一加热器设置于所述凹槽内;所述保护筒设置于所述第一加热器和所述坩埚之间,并将所述第一加热器封堵于所述凹槽内。
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