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申请/专利权人：应用材料公司
摘要：一种方法包括：由处理设备，从处理腔室的光学传感器接收第一数据。所述方法进一步包括：处理所述第一数据以获得第二数据。所述第二数据包括对所述处理腔室的内表面上的涂层的条件的指示。所述方法进一步包括：根据所述第二数据产生对所述处理腔室的处理操作的性能的指示。所述方法进一步包括：根据对所述处理腔室的性能的所述指示导致改正动作的执行。
主权项：1.一种方法，包括：由处理设备，从处理腔室的光学传感器接收第一数据；处理所述第一数据以获得第二数据，其中所述第二数据包括对所述处理腔室的内表面上的涂层的条件的指示；根据所述第二数据产生对所述处理腔室的处理操作的性能的指示；以及根据对所述处理腔室的性能的所述指示导致改正动作的执行。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 应用材料公司 使用光学壁工艺传感器（OWPS）的工艺表征和改正
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