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申请/专利权人：稳晟材料科技股份有限公司
摘要：一种碳化硅晶体长晶的质量控制方法及装置，包括：长晶单元，具有腔室，所述腔室用以容纳包含断热材料以及形成于所述断热材料内侧的石墨坩埚所构成的腔体，所述石墨坩埚用于供置入碳化硅晶种及碳化硅粉末；以及秤重系统，通过配置的多个重量传感器侦测在长晶过程中的所述腔体的重量变化，从而可以提早判断制程异常状况。
主权项：1.一种碳化硅晶体长晶的质量控制装置，其特征在于，包括：一长晶单元，用以对置入一腔体的石墨坩埚内的碳化硅晶种及碳化硅粉末的目标物进行长晶制程；以及一第一秤重系统，设于所述长晶单元的用于支承所述腔体的一第一盘体，用以侦测所述腔体在所述碳化硅晶体成长过程中的重量变化，其中，所述第一秤重系统包含沿着所述第一盘体周围分布的二个以上的第一重量传感器，所述二个以上的第一重量传感器电性连接至一处理单元。
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百度查询： 稳晟材料科技股份有限公司 碳化硅晶体长晶的质量控制方法及装置
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