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申请/专利权人：江苏福拉特自动化设备有限公司
摘要：本发明公开一种制备TGV盲孔的湿法刻蚀装置及方法，包括基座，在所述基座上方设有支撑盘，装载单片玻璃基板；所述支撑盘一侧设有刻蚀液喷洒机构，喷洒刻蚀药液制备所述玻璃基板上的盲孔；所述支撑盘另一侧设有清洗液喷洒机构，喷洒清洗液清洁所述玻璃基板的刻蚀面；所述支撑盘另一侧还设有喷气干燥机构，喷氮气干燥所述玻璃基板的刻蚀面；所述支撑盘的中心设有背喷组件，持续喷氮气保护所述玻璃基板的背面。本发明的TGV盲孔湿法刻蚀为单片旋转刻蚀，孔壁粗糙度好，刻蚀均一性好；同时单片旋转清洗也能够避免刻蚀副产物附着内壁，并且提高微孔的清洗效率。
主权项：1.一种制备TGV盲孔的湿法刻蚀装置，其特征在于，包括基座（1），在所述基座（1）上方设有支撑盘（2），装载单片玻璃基板（3）；所述支撑盘（2）一侧设有刻蚀液喷洒机构（4），喷洒刻蚀药液制备所述玻璃基板（3）上的盲孔；所述支撑盘（2）另一侧设有清洗液喷洒机构（5），喷洒清洗液清洁所述玻璃基板（3）的刻蚀面；所述支撑盘（2）另一侧还设有喷气干燥机构（6），喷氮气干燥所述玻璃基板（3）的刻蚀面；所述支撑盘（2）的中心设有背喷组件（7），持续喷氮气保护所述玻璃基板（3）的背面。
全文数据：
权利要求：
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