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申请/专利权人：广州众山精密科技有限公司;索罗曼(常州)合金新材料有限公司
摘要：本发明公开了一种氧化锌基复合靶材及其制备方法与应用，属于光伏行业太阳电池技术领域。该复合靶材的每100份制备原料包括0.8～1.2份第一混合物、0.8～1.5份氧化铝、0.4～0.8份其它金属氧化物及96.5～98份氧化锌；第一混合物包括1:1.8～2.2:2.8～3.2的氧化钇、碳酸钡和氧化铜；其它金属氧化物中的金属选自镓、铟和镁中的至少一种。该复合靶材具有较高的导电性及致密度，杂质含量低，适用于光伏行业中的透明导电电极。其制备方法包括：将制备原料进行第一次球磨、干燥、第一次真空烧结、第二次球磨、冷等静压、第二次真空烧结及热压烧结。该方法简单，易操作，可工业化生产。
主权项：1.一种氧化锌基复合靶材，其特征在于，所述氧化锌基复合靶材包括氧化锌基体以及掺杂于所述氧化锌基体中的杂质相；以质量份数计，所述氧化锌基复合靶材的每100份制备原料包括0.8份～1.2份第一混合物、0.8份～1.5份氧化铝、0.4份～0.8份其它金属氧化物以及96.5份～98份氧化锌；所述第一混合物包括质量比为1:1.8～2.2:2.8～3.2的氧化钇、碳酸钡和氧化铜；所述其它金属氧化物中的金属选自镓、铟和镁中的至少一种。
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权利要求：
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