首页 专利交易 科技果 科技人才 科技服务 国际服务 商标交易 会员权益 IP管家助手 需求市场 关于龙图腾
 /  免费注册
到顶部 到底部
清空 搜索

使用光敏复合物的各向异性蚀刻 

买专利卖专利找龙图腾,真高效! 查专利查商标用IPTOP,全免费!专利年费监控用IP管家,真方便!

申请/专利权人:奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司

摘要:提供了一种在制造部件承载件100期间对电传导层结构102进行蚀刻的方法,其中,该方法包括:使电传导层结构102经受包括蚀刻剂106和光敏复合物108的蚀刻组合物,从而在电传导层结构102中形成凹部110;同时至少在部分时间内对凹部110进行辐照和或加热。另外,提供了一种用于在制造部件承载件100期间对电传导层结构102进行蚀刻的设备、一种经蚀刻的电传导层结构103以及一种部件承载件100。

主权项:1.一种在制造部件承载件100期间对电传导层结构102进行蚀刻的方法,其中,所述方法包括:使所述电传导层结构102经受包括蚀刻剂106和光敏复合物108的蚀刻组合物,从而在所述电传导层结构102中形成凹部110,其中,所述光敏复合物108具有被配置成用于抑制铜蚀刻的至少一个功能团,其中所述光敏复合物108被配置成用于在被辐照和或加热时附着到铜表面或从铜表面分离,以及其中,所述光敏复合物108具有选自硝基苯基、喹啉、香豆素、二苯乙烯、重氮苯、螺吡喃、三苯基甲烷、邻硝基苄基酯和二氮丙啶的至少一个功能团。

全文数据:

权利要求:

百度查询: 奥特斯奥地利科技与系统技术有限公司 使用光敏复合物的各向异性蚀刻

免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息,力求客观、公正,但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解,仅供参考使用,不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。