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一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层及其制备方法 

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申请/专利权人:中国科学院兰州化学物理研究所

摘要:本发明涉及一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层,该周期性多层结构涂层由基体、依次沉积在基体外表面的Cr结合层和CrNbTiAlVCNxMoN顶层组成;所述CrNbTiAlVCNxMoN顶层由CrNbTiAlVCNx层和MoN层交替沉积所得,调制周期为50~420nm,调制比为1:1~1.2:1。同时,本发明还公开了该周期性多层结构涂层的制备方法。本发明采用磁控溅射技术,通过改变单层涂层的沉积时间,制备出具有不同调制周期的CrNbTiAlVCNxMoN多层结构涂层;所制备的CrNbTiAlVCNxMoN多层复合涂层层间界面平整,周期性结构清晰且致密,在高温下具有良好的自润滑性能,可用于高温环境中减摩耐磨部件。

主权项:1.一种具有高温自润滑周期性多层结构涂层,其特征在于:该周期性多层结构涂层由基体、依次沉积在基体外表面的Cr结合层和CrNbTiAlVCNxMoN顶层组成;所述CrNbTiAlVCNxMoN顶层由CrNbTiAlVCNx层和MoN层交替沉积所得,调制周期为50~420nm,调制比为1:1~1.2:1;所述CrNbTiAlVCNx层的沉积参数是多元拼接靶Cr-Nb-Ti-Al-V电流为4.5A,C靶电流为4A,Ar流量为18sccm,N2流量为38sccm,偏压为50~126V,基体转速为5rpm,单层沉积时间为2~20min。

全文数据:

权利要求:

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