龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：苏州敏芯微电子技术股份有限公司
摘要：本申请的实施例公开了一种加速度传感器结构及其制造方法、加速度传感器，其中加速度传感器结构包括：衬底层；结构层，其设置在衬底层的一侧，结构层包括支撑框架部和活动质量块，所示支撑框架部与活动质量块相分离；支撑结构，其支撑连接支撑框架部和衬底层，支撑框架部包括依次层叠的支撑牺牲部、支撑保护部和支撑绝缘部；在衬底层的厚度方向上，支撑绝缘部以及支撑保护部的正投影均与活动质量块的正投影相交叠。根据本申请，其在支撑结构中增加了支撑保护部，以扩大导电层对支撑绝缘部的保护面积，减少了绝缘层在释放工艺中被释放的面积，进而避免了用以支撑连接电极的绝缘层被过渡刻蚀而影响电极的固定效果，提高产品的稳定性。
主权项：1.一种加速度传感器结构，其特征在于，包括：衬底层（310）；导电层（330），所述导电层（330）包括导电部（331）和支撑保护部（334），所述支撑保护部（334）在所述导电层（330）所在平面内环绕所述导电部（331）设置；结构层（350），所述结构层（350）设置在所述衬底层（310）的一侧，所述结构层（350）包括支撑框架部（351）和活动质量块（354），所示支撑框架部（351）与所述活动质量块（354）相分离；支撑结构，所述支撑结构支撑连接所述支撑框架部（351）和所述衬底层（310），所述支撑框架部（351）包括依次层叠的支撑牺牲部（341）、支撑保护部（334）和支撑绝缘部（321），所述支撑绝缘部（321）支撑连接在所述支撑保护部（334）和所述衬底层（310）之间，所述支撑牺牲部（341）设置在所述支撑保护部（334）朝向所述结构层（350）的一侧；其中，在所述衬底层（310）的厚度方向上，所述支撑绝缘部（321）以及所述支撑保护部（334）在所述衬底层（310）上的正投影均与所述活动质量块（354）在所述衬底层（310）上的正投影相交叠，所述支撑牺牲部（341）在所述衬底层（310）上正投影与所述活动质量块（354）在所述衬底层（310）上的正投影相隔离。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 苏州敏芯微电子技术股份有限公司 加速度传感器结构及其制造方法、加速度传感器
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号