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申请/专利权人：清华大学
摘要：本申请涉及一种静电悬浮加速度计敏感结构，包括质量块、外表面电极、内表面电极和第三电极板。由于质量块为空心的圆筒状，使得外表面电极可以布置在质量块的外侧，内表面电极以及第三电极板可以布置在质量块的内侧，使得质量块的表面积质量比更高，相同的量程下所需要的支承电压更低，降低了电路噪声，使其测量误差减小，测量精度提升；同时，各个电极能提供较大的支承力，从而扩大了静电悬浮加速度计敏感结构的量程，一定程度上解决了静电加速度计的大过载能力与高精度的矛盾。另外，静电悬浮加速度计敏感结构的整体结构紧凑，能够实现多轴加速度的同步测量，测量的集成度较高，各轴的测量和控制的同步性较好实现，简化了测量及控制电路。
主权项：1.一种静电悬浮加速度计敏感结构，其特征在于，所述静电悬浮加速度计敏感结构包括：质量块（100），为空心的圆筒状；所述质量块（100）内部设置有法兰盘（110），所述法兰盘（110）的轴线与所述质量块（100）的轴线共线；外表面电极，沿所述质量块（100）的径向间隔设置于所述质量块（100）的外侧；所述外表面电极包括沿所述质量块（100）的周向间隔设置的第一外电极板（210）和第二外电极板（220），所述第一外电极板（210）用于检测所述质量块（100）沿第一方向的位移；所述第二外电极板（220）用于检测所述质量块（100）沿第二方向的位移；内表面电极，间隔设置于所述质量块（100）沿所述径向的内侧；所述内表面电极包括沿所述质量块（100）的周向间隔设置的第一内电极板（310）和第二内电极板（320），所述第一内电极板（310）用于检测所述质量块（100）以所述第一方向为轴线旋转的角度；所述第二内电极板（320）用于检测所述质量块（100）以所述第二方向为轴线旋转的角度；第三电极板（410），间隔设置于所述质量块（100）沿所述径向的内侧，所述第三电极板（410）用于检测所述质量块（100）沿轴向的位移。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 清华大学 静电悬浮加速度计敏感结构
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