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申请/专利权人:苏州太阳井新能源有限公司
摘要:本实用新型提供一种非接触式曝光机,包括平台装置及传输装置,传输装置的可伸缩输送线可以插入承载台上的传输凹槽,在上料时,可通过平台装置沿上下方向上升,以将待曝光件从输送线上脱离,由承载台承载待曝光件,在下料时,可通过平台装置沿上下方向下降,以将待曝光件从承载台上脱离,由输送线承载完成曝光处理的曝光件,便于实现对待曝光件进行精准上料和或下料,避免待曝光件发生大的位置偏移,精准上料可以有效提高曝光精度和曝光效率,改善产品良率,精准下料有利于完成曝光处理的曝光件的收集,为后续工艺提供便利,减少产品的损坏率。
主权项:1.一种非接触式曝光机,其特征在于,所述非接触式曝光机包括:平台装置,所述平台装置既可沿水平的第一方向往复运动,又可沿上下方向移动,所述平台装置包括承载台,所述承载台被配置为承载待曝光件,所述承载台上设置有沿水平的第二方向设置的传输凹槽,所述传输凹槽沿所述第一方向至少贯穿所述承载台的一端,所述第一方向与所述第二方向垂直;传输装置,所述传输装置沿所述第一方向设置于所述平台装置的上游和或下游,所述传输装置被配置为将所述待曝光件传入所述平台装置,和或,将所述待曝光件从所述平台装置传出,所述传输装置包括可伸缩的输送线,输送线靠近所述平台装置,所述输送线在传输所述曝光件时,所述输送线可沿所述第一方向插入所述承载台上的所述传输凹槽,所述传输凹槽的深度大于所述输送线的厚度,所述传输凹槽的宽度大于所述输送线的宽度。
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