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申请/专利权人：联合微电子中心有限责任公司
摘要：本发明提供一种多光谱原位融合探测器及其制作方法，该探测器包括可见光芯片及红外光芯片，其中，可见光芯片包括可见光像元阵列，红外光芯片连接于可见光芯片下方，红外光芯片包括红外光像元阵列，红外光像元阵列与可见光像元阵列在三维垂直空间设置对应关系，一个红外像元对应一个或多个可将光像元，以实现可见光红外光的垂直原位融合探测。该探测器从集成方式上对可见光芯片与红外光芯片进行融合，在满足工艺兼容性的同时，能够实现复杂环境下例如，高速运动场景对探测目标进行全天时、动态的探测与识别效果，提升可见光红外光融合探测的准确性与灵活性。该制作方法步骤简单，制作工艺兼容，易于规模化生产。
主权项：1.一种多光谱原位融合探测器，其特征在于，包括：可见光芯片，包括可见光像元阵列，所述可见光芯片设有所述可见光像元阵列的一面朝上；红外光芯片，连接于所述可见光芯片下方，所述红外光芯片包括红外光像元阵列，且所述红外光芯片设有所述红外光像元阵列的一面朝上，所述红外光像元阵列与所述可见光像元阵列在垂向上对应设置以实现可见光红外光的垂直原位融合探测。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 联合微电子中心有限责任公司 一种多光谱原位融合探测器及其制作方法
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