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申请/专利权人：江苏福旭科技制造有限公司
摘要：本发明属于磁力抛光装置领域，尤其是一种多晶硅片表面磁力抛光装置，现提出如下方案，其包括磁力抛光机；箱体，所述箱体固定安装在磁力抛光机的顶部；盖板，所述盖板处于箱体的顶部；外壳，所述外壳固定安装在盖板的顶部；定位机构和夹持机构，所述定位机构分别与夹持机构和外壳相配合；安装机构和拆卸机构，所述安装机构和拆卸机构的数量为两组，本发明通过将多晶硅片放置在两个夹具的中间，然后再按动伸缩杆和推动控制杆转动，使得控制杆可控制两个夹具相互靠近，实现对多晶硅片的夹持，然后再启动电机，电机就可带动夹具转动，夹具再带动多晶硅片转动，就可实现多晶硅片的角度调节，方便对多晶硅片的其他面进行打磨。
主权项：1.一种多晶硅片表面磁力抛光装置，其特征在于，包括磁力抛光机1；箱体2，所述箱体2固定安装在磁力抛光机1的顶部；盖板3，所述盖板3处于箱体2的顶部；外壳4，所述外壳4固定安装在盖板3的顶部；定位机构和夹持机构，所述定位机构分别与夹持机构和外壳4相配合；安装机构和拆卸机构，所述安装机构和拆卸机构的数量为两组，安装机构分别与盖板3、外壳4和拆卸机构相配合；旋转机构，所述旋转机构的数量为两个，旋转机构包括：滑动板5、电机7、皮带轮8、皮带9、转轴10和夹具11；滑动板5滑动连接在外壳4的顶部内壁上，皮带轮8与滑动板5转动连接，转动贯穿滑动板5，转轴10与下方位置的皮带轮8固定连接，转轴10与夹具11固定连接，皮带9套设在两个皮带轮8上，电机7与滑动板5固定连接，电机7输出轴贯穿滑动板5，电机7输出轴与顶部位置的皮带轮8固定连接。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 江苏福旭科技制造有限公司 一种多晶硅片表面磁力抛光装置
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