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申请/专利权人：滁州爱沃富光电科技有限公司
摘要：本发明公开了一种PECVD镀膜工艺及镀膜系统，涉及镀膜技术领域，具体包括镀膜室，镀膜室内部顶面固定安装有若干个相互平行的电极板，镀膜室顶面设置有进气口，镀膜室底面设置有出气口；还包括平移座，平移座上固定安装有若干个相互平行的载板；载板上设置有若干个固定单元，每个固定单元均对两个晶片进行固定；固定单元包括三个与载板转动配合的转轴，转轴两端均固定套设有凸轮，凸轮远离载板的一侧端面上均固定安装有挡片；载板侧壁上对应每个固定单元的位置均开设有凹槽，凹槽内水平滑动安装有活塞板。本发明中，对电极板通电后，晶片的表面各处均能够得到镀膜，镀膜完成后无需对晶片边缘进行打磨抛光，既节省了工序，又避免了原材料浪费。
主权项：1.一种PECVD镀膜系统，包括镀膜室1，镀膜室1内部顶面固定安装有若干个相互平行的电极板2，镀膜室1顶面设置有进气口101，镀膜室1底面设置有出气口102；还包括平移座3，平移座3上固定安装有若干个相互平行的载板4，其特征在于，所述载板4上设置有若干个固定单元，每个固定单元均对两个晶片进行固定；固定单元包括三个与载板4转动配合的转轴5，转轴5两端均固定套设有凸轮6，凸轮6远离载板4的一侧端面上均固定安装有挡片7；载板4侧壁上对应每个固定单元的位置均开设有凹槽401，凹槽401内水平滑动安装有活塞板8。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 滁州爱沃富光电科技有限公司 一种PECVD镀膜工艺及镀膜系统
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