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申请/专利权人：深圳市森美协尔科技有限公司
摘要：本申请提供的一种翻盖机构及晶圆检测装置，翻盖机构包括第一连接板、第二连接板及至少一组铰链结构，铰链结构包括第一连接件、第二连接件及球轴承组件，球轴承组件包括沿轴向依次设置的第一轴盖、球形连接部及第二轴盖，球形连接部的相对两端分别与第一轴盖与第二轴盖固定连接；第一连接件的第一端固定连接第一连接板，第一连接件的第二端连接于第一轴盖及第二轴盖，第二连接件的第一端固定连接第二连接板，第二连接件的第二端设有与球形连接部相适配的球形腔，第二连接件的第二端套设于球形连接部的外周侧，且转动连接于球形连接部；由于球形连接部能够带动第二连接件在左右方向上能够一定的摆动自由度，提高翻盖机构在盖合状态下的水平度。
主权项：1.一种翻盖机构，其特征在于，包括：第一连接板；第二连接板；及至少一组铰链结构，所述铰链结构包括第一连接件、第二连接件及球轴承组件，所述球轴承组件包括沿轴向依次设置的第一轴盖、球形连接部及第二轴盖，所述球形连接部的相对两端分别与所述第一轴盖与所述第二轴盖固定连接；所述第一连接件的第一端固定连接所述第一连接板，所述第一连接件的第二端连接于所述第一轴盖及所述第二轴盖，所述第二连接件的第一端固定连接所述第二连接板，所述第二连接件的第二端设有与所述球形连接部相适配的球形腔，所述第二连接件的第二端套设于所述球形连接部的外周侧，且转动连接于所述球形连接部。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市森美协尔科技有限公司 翻盖机构及晶圆检测装置
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