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申请/专利权人：北京邮电大学
摘要：本申请提供一种附着纳米天线的铝镓氮基发光单元及制备方法，属于半导体光源技术领域。该附着纳米天线的铝镓氮基发光单元包括：多个纳米天线及铝镓氮层；各纳米天线以预设间距周期性附着在所述铝镓氮层的表面。本申请的方法，通过在铝镓氮层上添加纳米天线，通过纳米天线的振荡形成局域电场，实现与深紫外光共振，增加铝镓氮的自发辐射率、提高铝镓氮层的外量子效率。
主权项：1.一种附着纳米天线的铝镓氮基发光单元，其特征在于，包括：多个纳米天线及铝镓氮层；各纳米天线以预设间距周期性附着在所述铝镓氮层的表面；所述纳米天线在所述铝镓氮层的表面作为局域表面等离子激源；所述纳米天线的长度、宽度和高度与所述铝镓氮层的组分对应；所述纳米天线，为长度大于40nm且小于150nm，宽度大于30nm且小于130nm，高度大于10nm且小于70nm的长方体；所述铝镓氮的组分为Al0.43Ga0.57N，对应的所述纳米天线的长宽高分别为100nm、58nm、35nm；或所述铝镓氮的组分为Al0.5Ga0.5N，对应的所述纳米天线的长宽高分别为110nm、50nm、40nm。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 北京邮电大学 附着纳米天线的铝镓氮基发光单元及制备方法
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