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申请/专利权人：复旦大学
摘要：本发明涉及一种微型微弱带电粒子束流探测装置，包括：电子抑制极，用于抑制二次电子；束流吸收极，用于吸收带电粒子束流；信号放大极，用于产生二次放大的电子流；信号吸收极，用于探测吸收总的放大电流信号；电子抑制极、束流吸收极、信号放大极和信号吸收极分别为沿迎面带电束流方向依次设置，探测装置的工作环境为真空环境。与现有技术相比，本发明具有探测精度高、生产成本低、易于加工等优点。
主权项：1.一种微型微弱带电粒子束流探测装置，其特征在于，所述的探测装置包括：电子抑制极1，用于抑制二次电子；束流吸收极2，用于吸收带电粒子束流；信号放大极3，用于产生二次放大的电子流；信号吸收极4，用于探测吸收总的放大电流信号；所述的电子抑制极1、束流吸收极2、信号放大极3和信号吸收极4分别为沿迎面带电束流方向依次设置；所述的探测装置的工作环境为真空环境；所述的探测装置设有真空连接支座5，用于安装固定螺杆501和真空电极接口502；所述的信号放大极3非绝缘安装在固定螺杆501上；所述的信号放大极3包括多孔圆环薄片和微通道圆板；所述的微通道圆板同心点焊在多孔圆环薄片正面；所述的信号吸收极4的中心位置设有锥形半沉孔，用于抑制二次电子产生并收集放大的电子信号。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 复旦大学 一种微型微弱带电粒子束流探测装置
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