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申请/专利权人：深圳市广能达半导体科技有限公司
摘要：本实用新型公开了一种含水冷散热器的匹配器，射频电源匹配器包括箱体与设置在箱体内部的真空电容，真空电容的接触平面与水冷板的端面贴合连接，水冷板设置进水口与出水口，进水口与出水口经过穿过箱体的液体管道与水冷机连接，进水口与出水口均设置有快拧接头，水冷板之间的液体管道连通，或，各个水冷板通过独立的液体管道分别与水冷机连通，或，同一真空电容设置的水冷板之间连通，不同真空电容设置的水冷通过独立的液体管道分别与水冷机连通。本实用新型提供一种含水冷散热器的匹配器，将射频电源的散热设置为水冷散热结构，使得射频电源匹配器工作运行时产生的热量通过水冷散热器的水流循环带出到机箱外部的水冷机进行降温，散热效率高。
主权项：1.一种含水冷散热器的匹配器，其特征在于，射频电源匹配器包括箱体与设置在箱体内部的真空电容，真空电容的接触平面与水冷板的端面贴合连接，水冷板设置进水口与出水口，进水口与出水口经过穿过箱体的液体管道与水冷机连接，进水口与出水口均设置有快拧接头，水冷板之间的液体管道连通，或，各个水冷板通过独立的液体管道分别与水冷机连通，或，同一真空电容设置的水冷板之间连通，不同真空电容设置的水冷通过独立的液体管道分别与水冷机连通，液体管道在与箱体相接处设置双通接头。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市广能达半导体科技有限公司 一种含水冷散热器的匹配器
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