龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司
摘要：本发明实施例公开了一种晶圆背面清洗装置及其工作方法，该装置包括真空吸盘、第一气道组件以及第二气道组件；真空吸盘上设有内槽以及外槽，外槽位于内槽的外周；其中，第一气道组件与内槽连通；第二气道组件与外槽连通。通过实施本发明实施例的装置可实现在晶圆背面清洗过程中，清洗液体不会因为真空吸盘的负压被吸附到吸盘上，从而避免了液体在晶圆背面残留的问题。
主权项：1.一种晶圆背面清洗装置，其特征在于，包括：真空吸盘、第一气道组件以及第二气道组件；所述真空吸盘上设有内槽以及外槽，所述外槽位于所述内槽的外周；其中，所述第一气道组件与所述内槽连通；所述第二气道组件与所述外槽连通。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 拓荆键科(海宁)半导体设备有限公司 一种晶圆背面清洗装置及其工作方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号