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申请/专利权人：大连皓宇电子科技有限公司
摘要：本发明公开了PECVD设备上的spindle主轴连接结构，包括：DD马达，用于驱动主轴；转接底座，嵌套在DD马达内圈，用于传递驱动力；多功能轴端锁紧螺母，位于转接底座顶部凹槽内，且套接在主轴上将主轴进行锁紧；辅助主轴丝杆，设置在主轴下方且上部伸进转接底座内，用于克服DD马达内圈磁铁吸力，防止主轴变形；丝杆螺母，套接在辅助主轴丝杆上；滚珠轴承，位于丝杆螺母与转接底座之间。本发明中DD马达内圈通过转接底座与主轴连接，减少了传动过程中的误差累积，从而确保了主轴运动的精确性。通过辅助主轴克服DD马达内圈磁铁的吸力，增加主轴的刚性，避免变形，防止DD马达内圈和外圈接触产生摩擦。
主权项：1.PECVD设备上的spindle主轴连接结构，其特征在于，包括：DD马达，用于驱动主轴；转接底座，嵌套在DD马达内圈，用于传递驱动力；多功能轴端锁紧螺母，位于转接底座顶部凹槽内，且套接在主轴上将主轴进行锁紧；辅助主轴丝杆，设置在主轴下方且上部伸进转接底座内，用于克服DD马达内圈磁铁吸力，防止主轴变形；丝杆螺母，套接在辅助主轴丝杆上；滚珠轴承，位于丝杆螺母与转接底座之间。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 大连皓宇电子科技有限公司 PECVD设备上的spindle主轴连接结构
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