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申请/专利权人：先导薄膜材料(安徽)有限公司
摘要：本发明公开了一种WTi靶材及其制备方法与应用，属于金属加工领域，本发明所述方法通过特定的原料混合以及特殊的阶段程序式烧结和压力控制工艺，使得制备的产品在不依赖特殊设备或者严苛条件的情况下即可达到高致密度和高纯度的要求，同时WTi元素的含量控制稳定性高，产品综合品质高，可实现工业化批量生产。
主权项：1.一种大尺寸WTi靶材的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：1将W粉和Ti粉混合，在保护气氛下球磨处理后，得混合粉体；2将混合粉体在真空环境下进行预压处理，得粗靶坯；3将粗靶坯在真空环境下以8～10℃min的速率一次升温至600～800℃，随后以5～7.5℃min的速率二次升温至900～1150℃并保温30～60min，最后以2～4.5℃min的速率三次升温至1250～1350℃并保温30～60min；4待保温结束后，保持温度不变并以0.25～0.35MPamin的速率一次升压至环境压力为20～25MPa，随后以0.1～0.2MPamin的速率二次升压至环境压力为35～40MPa并保温保压90～150min，冷却，机加工，即得所述大尺寸WTi靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 先导薄膜材料(安徽)有限公司 一种大尺寸WTi靶材及其制备方法与应用
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