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申请/专利权人：成都极星等离子科技有限公司
摘要：本发明公开了一种含钨的合金靶材制作方法，包括如下步骤：1选取待合成元素颗粒和钨元素颗粒混合，混合后的颗粒进一步的研磨；2研磨后的颗粒进行初烧结，烧结的温度为混合颗粒中含量最少的元素的熔融温度，烧结后冷却至常温；3对初烧结后的合金进行粗粉碎；4根据靶材毛胚对粗粉碎的合金进行热等静压真空封套烧结成型，烧结的温度为混合颗粒中含量最多的元素的熔融温度的0.7～0.9倍，烧结后进行精加工制成合金靶材。本发明通过混合初烧结利用金属熔化后冷却的过程作为其他金属的粘接剂，使颗粒物充分混合，保证材质的均匀性、一致性和稳定性，从而保证后续制备的复合层的稳定性、均匀性和一致性。
主权项：1.一种含钨的合金靶材制作方法，其特征在于包括如下步骤：1选取待合成元素颗粒和钨元素颗粒混合，混合后的颗粒进一步的研磨，研磨至颗粒的粒径为3～5微米；2研磨后的颗粒进行初烧结，烧结的温度为混合颗粒中含量最少的元素的熔融温度，烧结为130min；烧结后冷却至常温；3对初烧结后的合金进行粗粉碎，粉碎的颗粒粒径为步骤1颗粒粒径的6～13倍；4根据靶材毛胚对粗粉碎的合金进行热等静压真空封套烧结成型，烧结的温度为混合颗粒中含量最多的元素的熔融温度的0.7～0.9倍，烧结时间为180min；烧结后进行精加工制成合金靶材。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 成都极星等离子科技有限公司 一种含钨的合金靶材制作方法
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