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申请/专利权人：西安交通大学
摘要：本发明公开了一种挠曲电式高精度作动器，属于材料科学中的力电耦合技术领域。包括电介质元件和作动器，作动器包括上T形台和下T形台，上T形台的上竖臂和下T形台的下竖臂连接，T形台的上悬臂下表面均涂覆有第一电极层，下T形台的下悬臂上表面均涂覆有第二电极层，电介质元件的一端夹持在上竖臂和下竖臂之间，另一端沿作动器的高度方向自由上下振动，作动器受到电学信号激励时，通过第一电极层和第二电极层产生均匀电场，电介质元件在电场作用下产生弯曲，进行位移信号输出。本发明应用反挠曲电效应，使得作动器核心电介质元件在相同驱动电压下可以产生更加精细的弯曲振动，满足驱动器的超高分辨率需求，实现微纳系统中的超精密作动及定位。
主权项：1.一种挠曲电式高精度作动器，其特征在于，包括：电介质元件101和作动器2，所述作动器2包括上T形台201和下T形台202，所述上T形台201包括上竖臂和上悬臂，上竖臂的上端部和上悬臂的横端连接，所述下T形台202包括下竖臂和下悬臂，下竖臂的下端部和下悬臂的横端连接；所述上竖臂和所述下竖臂连接，所述上悬臂的下表面均涂覆有第一电极层301，所述下悬臂的上表面均涂覆有第二电极层302，电介质元件101的一端夹持在所述上竖臂和下竖臂之间，另一端沿作动器2的高度方向自由上下振动，作动器受到电学信号激励时，通过第一电极层301和第二电极层302产生均匀电场，电介质元件101在电场作用下产生弯曲，进行位移信号输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 西安交通大学 一种挠曲电式高精度作动器
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