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申请/专利权人：上海芯谦集成电路有限公司
摘要：本发明涉及一种孔隙均匀的抛光垫及其制备方法，制备方法包括如下步骤a分别称取以下重量组份原料：聚氨酯预聚物70～80份、发泡剂3～5份和扩链剂15～24份，所述发泡剂为对甲苯磺酰胺；b分别软化所述聚氨酯预聚物和所述扩链剂；c溶解所述发泡剂；d均匀混合所述聚氨酯预聚物和所述发泡剂，得到第一混合物；e均匀混合所述扩链剂与所述第一混合物，得到第二混合物；f对所述第二混合物进行模具固化处理。与现有技术相比，本发明用对甲苯磺酰胺TSH替代高温膨胀球，对甲苯磺酰胺会受热分解氮气，在抛光垫内部形成封闭、细密均匀的气孔，以实现抛光垫内部造孔，从而降低抛光垫的密度，有效避免了高温膨胀球造成的金属颗粒残留。
主权项：1.一种孔隙均匀的抛光垫制备方法，其特征在于，包括如下步骤：a分别称取以下重量组份原料：聚氨酯预聚物70～80份、发泡剂3～5份和扩链剂15～24份，所述发泡剂为对甲苯磺酰胺；b分别软化所述聚氨酯预聚物和所述扩链剂；c溶解所述发泡剂；d均匀混合所述聚氨酯预聚物和所述发泡剂，得到第一混合物；e均匀混合所述扩链剂与所述第一混合物，得到第二混合物；f对所述第二混合物进行模具固化处理。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海芯谦集成电路有限公司 一种孔隙均匀的抛光垫及其制备方法
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