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申请/专利权人：中国电子科技集团公司第五十四研究所
摘要：本发明公开了一种三轴MEMS电容式加速度传感器及其制作方法，属于微机电系统技术领域。其包括用于检测x方向上加速度的上层结构、用于检测z方向上加速度的中层结构和用于检测y方向上加速度的下层结构；上层结构和下层结构均构成梳齿型倍增电容加速度传感器，分别由动电极及定电极组成；中层结构构成三明治式差分电容加速度传感器，包括上、下级板和质量块。本发明具有电容正对面积大、量程大、灵敏度高、可靠性高、集成度高、成本低、噪声低、性能稳定等优点。
主权项：1.一种三轴MEMS电容式加速度传感器,其特征在于，包括用于检测x方向上加速度的上层结构、用于检测z方向上加速度的中层结构和用于检测y方向上加速度的下层结构；所述中层结构包括依次层叠的上级板、固定框和下级板；所述固定框内设有质量块，且质量块通过悬臂组固定于固定框的中心处；所述上级板的下表面和下级板的上表面均设有用于约束质量块运动的限位凸框和防撞凸点；所述上级板和质量块之间与质量块和下级板之间均具有间隙；所述上层结构位于上级板顶部，其包括间隔排列的n个x向动电极和n+1个x向定电极，其中n≥1；所述x向定电极与上级板固定连接，x向动电极通过柔性结构与上级板连接；所述x向动电极和x向定电极的相邻侧均设有梳齿，且x向动电极和x向定电极的梳齿交错设置并留有等间距的活动间隙；所述下层结构位于下级板底部，其包括间隔排列的n个y向动电极和n+1个y向定电极；所述y向定电极与下级板固定连接，y向动电极通过柔性结构与下级板连接；所述y向定电极和y向动电极的相邻侧均设有梳齿，且y向动电极和y向定电极的梳齿交错设置并留有等间距的活动间隙；所述x向动电极和y向动电极相互垂直；所述质量块的上表面和下表面均为方形；所述悬臂组包括分别与方形上、下表面对应的上组悬臂和下组悬臂，每组悬臂包括旋转对称的四个悬臂；所述悬臂为Z型结构，其两端分别连接外围框和方形边端点；所述上级板的上表面和下级板的下表面均覆有绝缘层，且上级板的上表面和下级板的下表面均设有锚点，所述x向动电极和y向动电极通过柔性结构连接在对应的锚点上。
全文数据：
权利要求：
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