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申请/专利权人：江苏派莱特光电科技有限公司

摘要：本发明涉及镀膜监测技术领域，具体为一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统；包括：服务器、厚度监测模块和预警控制模块；通过实时监测蒸发镀膜机上若干个监测点的镀膜厚度，根据设定的标准工艺厚度分析得到镀膜评估指数，进而构建镀膜评估指数随时间变化的曲线图，直观了解镀层质量变化趋势；利用评估导数和稳定指数，对镀膜质量的变化趋势进行更细致的分析，帮助发现镀膜质量的不稳定性和变化趋势得到修正指数，并据此生成镀膜修正指令，能及时发现镀膜厚度存在的质量问题，为蒸发镀膜机的预警控制策略实施提供技术支持；通过对镀膜信息进行分析，能够实时评估蒸发镀膜机的磨损情况，再依据磨损情况的严重程度，合理分配维修资源。

主权项：1.一种蒸发镀膜机镀膜厚度监测系统，其特征在于，包括厚度监测模块和预警控制模块；厚度监测模块通过实时监测蒸发镀膜机上若干个监测点对应的镀膜厚度，并基于此进行工艺要求监测以判断镀膜质量以生成镀膜修正指令，将镀膜修正指令发送至预警控制模块；具体为：101：获取各监测点对应的镀膜厚度记为Hij，其中i＝1,2,3……I，I取值为正整数，I表示的是镀膜机上监测点的总数量，i表示的是其中任意一个监测点的序号；j＝1,2,3……J，J表示的是采集时刻的总数，j表示的是其中任意一个采集时刻的序号；设定存在一个标准工艺厚度记为BH，通过设定的公式进行计算得到各监测点于各采集时刻对应的厚度分布值Pij，其中α为设定的校正系数，e为自然常数；102：任取一采集时刻下各监测点对应的厚度分布值，并对其进行离散比较分析得到各采集时刻对应的镀膜评估指数；103：以时间为横坐标，以镀膜评估指数为纵坐标绘制镀膜评估指数随着时间变化曲线关系图，并据此进行镀膜评估指数的变化趋势分析得到修正指数；当修正指数大于设定修正阈值时，则生成镀膜修正指令并将其发送至预警控制模块；预警控制模块接收到镀膜修正指令时，则基于镀膜信息对蒸发镀膜机的蒸发源和衬底台进行磨损分析以衡量对蒸发镀膜机镀膜工作的影响程度，并据此生成对应的预警策略；离散比较分析的具体过程为：将厚度分布值与设定的分布区间进行比较分析以将厚度分布值分为高度偏差、中度偏差和低度偏差，分别统计高度偏差、中度偏差和低度偏差的累计数量，并将其分别记为C1、C2、C3；将高度偏差、中度偏差和低度偏差对应厚度分布值分别进行求和计算得到高度偏差总值、中度偏差总值和低度偏差总值，并将其分别记为C4、C5、C6；将高度偏差的累计数量C1、中度偏差的累计数量C2、低度偏差的累计数量C3、高度偏差总值C4、中度偏差总值C5、低度偏差总值C6和厚度分布值Pij通过设定的公式进行计算得到该采集时刻对应的镀膜评估指数CPj，其中a1、a2、a3分别为设定的比例系数，且a1＞a2＞a3＞0，Pj为各监测点对应的镀膜厚度均值；依据镀膜评估指数随着时间变化曲线关系图进行镀膜评估指数的变化趋势分析的具体过程为：301：于各评估点作曲线的切线，利用数据拟合得到切线表达式，对切线表达式进行求导操作得到各评估点对应的评估导数；将大于零的评估导数进行求和计算得到质量单调降度，并将小于零的评估指数进行求和并取绝对值计算得到质量单调增度；302：将等于零的评估导数记为稳定导数，将稳定导数对应的评估点镀膜评估指数作为稳定导数的稳定指数，由此可得各稳定导数对应的稳定指数，并据此对镀膜评估指数的维持水平进行评估以得到维持值；303：将质量单调降度F1、质量单调增度F2、维持值Wb和镀膜评估指数CPj通过设定的公式进行计算得到修正指数FW，其中b4、b5、b6分别为设定的比例系数，e为自然常数，为各采集时刻的镀膜评估指数均值。

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