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申请/专利权人：安徽清电硅业有限公司
摘要：本申请公开了一种硅片的自动清洗方法、装置及系统。其中，该方法包括：将成组的硅片分离成单片的硅片，并将单片的硅片装篮至花篮；将花篮经翻转机构翻转后送入入料位置按照状态分别放置，其中，翻转机构底部安装有激光感应器，激光感应器用于识别花篮的状态，状态包括空蓝和满蓝；根据激光感应器的状态信号对空蓝花篮和满蓝花篮分别进行计数，根据计数结果从入料位置抓取空蓝花篮至第一清洗槽中进行清洗、抓取满蓝花篮至第二清洗槽进行清洗；分别对空蓝花篮和满蓝花篮进行烘干处理；对满蓝花篮中的硅片进行分选，可以实现自动的花篮分类与分类自动清洗，可以解决相关技术中硅片的清洗效率较低的技术问题。
主权项：1.一种硅片的自动清洗系统，其特征在于，包括：插片机，用于将成组的硅片分离成单片的硅片，并将单片的硅片装篮至花篮，之后传送到插片台；清洗机上料设备，与所述插片机连接，用于从所述插片机的插片台吊取花篮，经所述清洗机上料设备的翻转机构翻转后送入入料位置按照状态分别放置，所述翻转机构底部安装有激光感应器，所述激光感应器用于识别花篮的状态，所述状态包括空蓝和满蓝；清洗机，与所述清洗机上料设备连接，用于根据所述激光感应器的状态信号对空蓝花篮和满蓝花篮分别进行计数，根据计数结果从所述入料位置抓取所述空蓝花篮至第一清洗槽中进行清洗、抓取所述满蓝花篮至第二清洗槽进行清洗；烘干机，与所述清洗机连接，用于分别对所述空蓝花篮和所述满蓝花篮进行烘干处理；分选机，与所述烘干机连接，用于对所述满蓝花篮中的硅片进行分选。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 安徽清电硅业有限公司 硅片的自动清洗方法、装置及系统
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