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申请/专利权人：盛红晔半导体科技(上海)有限公司
摘要：本发明涉及等离子体源技术领域，提出一种螺旋谐振器反应器，包括：射频电源；以及放电管，其包括：螺旋管，其长度为12mλ，其中λ表示与射频电源的频率对应的波长，m表示正整数；以及第一和第二衬底台，其被配置为承载衬底，所述第一和第二衬底台布置在所述螺旋管的两端。本发明基于放电等离子体的三维自洽能力，通过增加或减少λ4的电气长度精确控制放电特性，优化等离子体源的性能，充分利用物理场中每一个平衡位置，提高了整个等离子体腔室的作业效率。
主权项：1.一种螺旋谐振器反应器，其特征在于，包括：射频电源；以及放电管，其包括：螺旋管，其长度为12mλ，其中λ表示与射频电源的频率对应的波长，m表示正整数；以及第一和第二衬底台，其被配置为承载衬底，所述第一和第二衬底台布置在所述螺旋管的两端。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 盛红晔半导体科技(上海)有限公司 一种螺旋谐振器反应器
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