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申请/专利权人：上海邦芯半导体科技有限公司
摘要：一种感性耦合反应器及其工作方法，感性耦合反应器包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元；所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的外侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面，所述反应室介质管内侧壁还设置有隔离件，所述隔离件将反应室介质管的内部区域分为第一反应区域和位于第一反应区域两侧的第二反应区域；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的射频天线。所述感性耦合反应器能加强对等离子分布的控制能力。
主权项：1.一种感性耦合反应器，其特征在于，包括：反应腔主体；位于所述反应腔主体上方的感性耦合射频单元；所述感性耦合射频单元包括：屏蔽罩；位于所述屏蔽罩内部的反应室介质管，所述反应室介质管的外侧壁倾斜且反应室介质管的顶部横截面小于底部横截面，所述反应室介质管内侧壁还设置有隔离件，所述隔离件将反应室介质管的内部区域分为第一反应区域和位于第一反应区域两侧的第二反应区域；位于所述屏蔽罩内部且分布于所述反应室介质管侧部的射频天线;所述隔离件中具有贯穿所述隔离件厚度的开口，所述开口的尺寸被设计为：第一反应区域的等离子体的带电粒子在离开所述开口时移动的最小距离大于第一反应区域的带电粒子的平均自由程，且第二反应区域的等离子体的带电粒子在离开所述开口时移动的最小距离大于第二反应区域的带电粒子的平均自由程；所述开口适于第一反应区域内的气体和第二反应区域内部的气体之间进行交换；贯穿所述第一反应区域顶部的反应室介质管的第一进气通道；所述第一反应区域的进气和所述第二反应区域的进气分别独立可调；所述射频天线包括相互分立的上射频天线和下射频天线，所述上射频天线位于所述第一反应区域的侧部，所述下射频天线位于所述第二反应区域的侧部，所述上射频天线馈入的射频功率和所述下射频天线馈入的射频功率分别可调。
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