龙图腾网&IPTOP
- 微信扫码登录
- 账号密码登录
- 短信登录/注册
买专利卖专利找龙图腾，真高效！ 查专利查商标用IPTOP,全免费！专利年费监控用IP管家,真方便！
申请/专利权人：上海盛剑半导体科技有限公司
摘要：本发明的实施例提供了一种温控设备及温控方法，涉及半导体加工技术领域。该温控设备包括制冷系统和循环系统，制冷系统包括压缩机、冷凝器、第一膨胀阀、储液器、蒸发器和气液分离器，压缩机的出口与冷凝器的入口连通，冷凝器的出口与储液器的入口连通，储液器的出口与第一膨胀阀的入口连通，第一膨胀阀的出口与蒸发器的第一入口连通，蒸发器的第一出口与气液分离器的入口连通，气液分离器的出口与压缩机的入口连通。压缩机的出口与气液分离器的入口连通。压缩机的入口与气液分离器的出口之间设置有第一温度传感器和第一压力传感器。该温控设备面对负载端的变化，能够较快且平稳地达到目标温度，且控制精度高。
主权项：1.一种温控设备，其特征在于，包括：制冷系统100，所述制冷系统100包括压缩机110、冷凝器120、第一膨胀阀130、储液器150、蒸发器160和气液分离器170，所述压缩机110的出口与所述冷凝器120的入口连通，所述冷凝器120的出口与所述储液器150的入口连通，所述储液器150的出口与所述第一膨胀阀130的入口连通，所述第一膨胀阀130的出口与所述蒸发器160的第一入口连通，所述蒸发器160的第一出口与所述气液分离器170的入口连通，所述气液分离器170的出口与所述压缩机110的入口连通；所述压缩机110的出口与所述气液分离器170的入口连通；所述压缩机110的入口与所述气液分离器170的出口之间设置有第一温度传感器300和第一压力传感器400；循环系统200，所述循环系统200包括水箱210、第二温度传感器220、水泵230和加热器240，所述蒸发器160的第二出口与所述水箱210的入口连通，所述水箱210的出口与所述水泵230的入口连通，所述水泵230的出口与所述加热器240的入口连通，所述加热器240的出口用于与负载端800的入口连通；所述蒸发器160的第二入口用于与所述负载端800的出口连接；所述水箱210的出口与所述水泵230的入口之间设置有第二温度传感器220。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 上海盛剑半导体科技有限公司 一种温控设备及温控方法
免责声明
1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
主营中国专利交易买卖与专利转让许可,高校科技成果推广与科技成果转化,知识产权运营管理与平台开发,科技人才专家库与科技猎头等科技服务
开放平台
担保交易
惠及多方
会员特惠
专属平台
适合多方
数据共享
功能齐全
皖公网安备 34010402703815号