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申请/专利权人：深圳市森东宝科技有限公司
摘要：本申请公开了一种探针台用冷热台，涉及检测设备的技术领域，包括盒体、检测探针口、冷流口、热流口和温度探针，盒体面积最大的侧面设有密封盖，密封盖用于在盒体内安装待检测芯片，检测探针口连接盒体的侧面，用于连接冷热台和检测设备，冷流口连接盒体，热流口连接在盒体远离冷流口的侧面，冷流口用于为冷流体进入盒体提供通道，热流口用于为热流体进入盒体提供通道，温度探针从盒体外侧穿入盒体内侧，用于测量盒体内的温度高低。使用冷流体和热流体对冷热台进行温度控制，从而使冷热台内能够形成均匀的温度环境，因此芯片在冷热台内也能够做到整体温度均匀，有利于探针台对芯片的准确检测。
主权项：1.一种探针台用冷热台，其特征在于，包括盒体（1）、检测探针口（2）、冷流口（3）、热流口（4）和温度探针（5），所述盒体（1）面积最大的侧面设有密封盖（11），所述密封盖（11）用于在所述盒体（1）内安装待检测芯片，所述检测探针口（2）连接所述盒体（1）的侧面，用于连接冷热台和检测设备，所述冷流口（3）连接所述盒体（1），所述热流口（4）连接在所述盒体（1）远离所述冷流口（3）的侧面，所述冷流口（3）和热流口（4）分别用于为冷热台提供冷流体和热流体，所述温度探针（5）从所述盒体（1）外侧穿入所述盒体（1）内侧，用于测量所述盒体（1）内的温度高低。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 深圳市森东宝科技有限公司 一种探针台用冷热台
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