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申请/专利权人：美博科技(苏州)有限公司
摘要：本发明实施例公开了一种真空吸附载台及手动探针台。其中，真空吸附载台包括基座、工作台。通过本发明实施例，在工作台设置第一吸附区域以及至少一个第二吸附区域，第二吸附区域用于放置第二类型片，从而使得本发明中的探针可以在测试过程中对探针进行调平、校准与清洁，而无需像现有技术一般将待测的半导体器件取下，进而提高了测试效率。同时通过独立的第一气道控制相应数量的吸附面，可以改变第一吸附区域的实际工作面的大小，从而可以吸附不同规格的半导体器件，相较于现有技术，本发明无需在测试前选择或更换合适尺寸的工作台，既便于测试又提高了测试效率。
主权项：1.一种真空吸附载台，其特征在于，所述真空吸附载台包括：基座1；工作台2，所述工作台2设于所述基座1上，且所述工作台2上设有第一吸附区域21以及至少一个第二吸附区域22，所述第一吸附区域21用于吸附第一类型片，所述第二吸附区域22用于吸附第二类型片；所述第一吸附区域21包括至少两个沿第一预设方向排布的吸附面211，所述工作台2内设有至少两个独立的第一气道23，所述第一气道23至少对应一个所述吸附面211，并用于与真空发生设备3连接，以使设定数量的所述吸附面211协同吸附所述第一类型片。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 美博科技(苏州)有限公司 真空吸附载台及手动探针台
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