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申请/专利权人：宁波江丰电子材料股份有限公司
摘要：本实用新型提供了一种加热盘用氦检工装检具，所述加热盘用氦检工装检具包括检具本体和连接件；所述检具本体的一端与所述加热盘连接，另一端与所述连接件连接；所述加热盘与检具本体的贴合处设置有第一密封圈；所述检具本体与连接件的贴合处设置有第二密封圈；所述连接件远离检具本体的一端设置有与氦质谱检漏仪的波纹管结构相适应的接口。所述加热盘用氦检工装检具可将加热盘与氦质谱检漏仪连接，进而实现加热盘的氦泄露检测，同时避免检测过程中出现漏气现象。
主权项：1.一种加热盘用氦检工装检具，其特征在于，所述加热盘用氦检工装检具包括检具本体和连接件；所述检具本体的一端与所述加热盘连接，另一端与所述连接件连接；所述加热盘与检具本体的贴合处设置有第一密封圈；所述检具本体与连接件的贴合处设置有第二密封圈；所述连接件远离检具本体的一端设置有与氦质谱检漏仪的波纹管结构相适应的接口。
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权利要求：
百度查询： 宁波江丰电子材料股份有限公司 一种加热盘用氦检工装检具
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