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龙图腾网恭喜泰克半导体装备(深圳)有限公司申请的专利一种升降式芯片检测设备及方法获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN112904186B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-07发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202110347163.7，技术领域涉及：G01R31/28；该发明授权一种升降式芯片检测设备及方法是由彭义青;冼平东;黄明春;容金波;吴述林;黄为民;周厚利;黎启造;谭建军设计研发完成，并于2021-03-31向国家知识产权局提交的专利申请。

本一种升降式芯片检测设备及方法在说明书摘要公布了：本发明公开了一种升降式芯片检测设备及方法，其中检测设备包括机架及安装在机架上的双轴移动模块、检测探针模块、积分球升降模块，双轴移动模块上设置有芯片升降模块，检测探针模块上设置有多组检测探针，芯片升降模块用于承载需要检测的芯片并将芯片升降到预设位置并使得芯片的电极与检测探针电性导通，双轴移动模块用于将芯片升降模块及芯片被检测芯片移动到预设位置，积分球升降模块包括积分球装置。该种升降式芯片检测设备及方法具有检测效率高、结构简单、实施成本低、维护便捷等现有技术所不具备的优点。

本发明授权一种升降式芯片检测设备及方法在权利要求书中公布了：1.一种升降式芯片检测设备，其特征在于：包括机架（1）及安装在机架（1）上的双轴移动模块（2）、检测探针模块（3）、积分球升降模块（4），所述双轴移动模块（2）上设置有芯片升降模块（5），所述检测探针模块（3）上设置有多组检测探针，所述芯片升降模块（5）用于承载需要检测的芯片并将芯片升降到预设位置并使得芯片的电极与检测探针电性导通，所述双轴移动模块（2）用于将芯片升降模块（5）及芯片升降模块（5）上的被检测芯片（9）沿X轴、Y轴方向移动到预设位置，所述积分球升降模块（4）包括积分球装置（47）并可将积分球装置顶升到贴靠芯片的位置；所述芯片升降模块（5）包括固定在双轴移动模块（2）上的升降模块底板（51）及安装在升降模块底板（51）上的芯片升降驱动电机（511）、芯片升降丝杆螺母副（512）、芯片升降导轨副（513），所述芯片升降导轨副（513）上设置有可升降运动的芯片升降平台（52），所述芯片升降丝杆螺母副（512）的丝杆螺母可转动地安装在升降模块底板（51）上，芯片升降丝杆螺母副（512）的丝杆上端固定连接于芯片升降平台（52）底部，芯片升降丝杆螺母副（512）的丝杆螺母下端设置有芯片升降从动同步轮（515），所述芯片升降驱动电机（511）的输出端设置有芯片升降主动同步轮（514），所述芯片升降主动同步轮（514）与芯片升降从动同步轮（515）之间绕设有芯片升降同步带（516），所述芯片升降平台（52）上设置有用于承载带检测芯片的芯片载具（53），所述芯片升降驱动电机（511）可通过芯片升降主动同步轮（514）、芯片升降从动同步轮（515）及芯片升降同步带（516）带动芯片升降平台（52）及芯片载具（53）沿着芯片升降导轨副（513）的导向方向上升或下降，所述芯片升降平台（52）侧部设置有芯片旋转模块，所述芯片旋转模块包括固定在芯片升降平台（52）侧部的芯片旋转导轨（551）、芯片旋转驱动电机（552）及芯片旋转丝杆螺母副（553），所述芯片旋转导轨（551）上安装有芯片旋转滑座（554），所述芯片旋转丝杆螺母副（553）的丝杆一端与芯片旋转驱动电机（552）的输出端连接，芯片旋转丝杆螺母副（553）的丝杆螺母与所述芯片旋转滑座（554）固定连接，所述芯片旋转驱动电机（552）可通过芯片旋转丝杆螺母副（553）带动芯片旋转滑座（554）在芯片旋转导轨（551）上滑动，所述芯片旋转滑座（554）与所述芯片载具（53）活动连接并可带动芯片载具（53）在芯片升降平台（52）上转动以同步带动芯片载具（53）上的芯片装置转动；所述积分球升降模块（4）包括固在定机架（1）底部的积分球模块安装架（41）及固定安装在积分球模块安装架（41）上的积分球升降驱动电机（42）、积分球升降丝杆螺母副（43）、积分球升降导轨（44），所述积分球升降导轨（44）上设置有积分球升降安装板（45），所述积分球升降驱动电机（42）的输出端连接到所述积分球升降丝杆螺母副（43）的丝杆一端，所述积分球升降丝杆螺母副（43）的螺母固与积分球升降安装板（45）固定连接，所述积分球升降驱动电机（42）可通过积分球升降丝杆螺母副（43）带动积分球升降安装板（45）在积分球升降导轨（44）上滑动，所述积分球升降安装板（45）上端部设置有积分球安装座（46），所述积分球安装座（46）上安装有所述的积分球装置（47），所述积分球安装座（46）与积分球装置（47）之间还设置有可转动的镜片旋转板（48），所述镜片旋转板（48）上设置有若干呈环形分布的积分球镜片（481），所述积分球升降安装板（45）或积分球安装座（46）上还设置有镜片转换电机（49），所述镜片转换电机（49）的输出轴（491）固定连接到所述镜片旋转板（48）并可驱动镜片旋转板（48）转动以切换镜片旋转板（48）上的不同积分球镜片（481）。

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