恭喜ASML荷兰有限公司N·潘迪获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利量测装置及其检测设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114270267B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-03-11发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080058034.X，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权量测装置及其检测设备是由N·潘迪设计研发完成，并于2020-07-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本量测装置及其检测设备在说明书摘要公布了：公开了一种用于量测装置的检测设备，所述量测装置能够操作以根据已从样本散射的被散射的辐射测量感兴趣的参数。所述检测装置包括检测器，所述检测器包括像素阵列。所述像素阵列包括：成像像素，所述成像像素用于检测图像，所述感兴趣的参数是根据所述图像确定的；和方向检测像素，所述方向检测像素用于检测所述被散射的辐射在所述检测器上的入射角度。
本发明授权量测装置及其检测设备在权利要求书中公布了：1.一种用于量测装置的检测设备，所述量测装置能够操作以根据已从样本散射的被散射的辐射测量感兴趣的参数；所述检测设备包括：检测器，所述检测器包括像素阵列，所述像素阵列包括：成像像素和方向检测像素二者，所述成像像素用于检测图像，所述感兴趣的参数是根据所述图像确定的，所述方向检测像素用于检测所述被散射的辐射在所述检测器上的入射角度。
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1、本报告根据公开、合法渠道获得相关数据和信息，力求客观、公正，但并不保证数据的最终完整性和准确性。
2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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