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龙图腾网恭喜深圳市森美协尔科技有限公司申请的专利运动调节机构及晶圆检测系统获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN119467644B 。

龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202510048429.6，技术领域涉及：F16H37/12；该发明授权运动调节机构及晶圆检测系统是由欧晓永;朱洲;张学磊设计研发完成，并于2025-01-13向国家知识产权局提交的专利申请。

本运动调节机构及晶圆检测系统在说明书摘要公布了：本申请提供的运动调节机构及晶圆检测系统，运动调节机构包括旋转组件，旋转螺杆的一端连接旋转驱动件，旋转螺杆的另一端为自由端；旋转连接组件包括螺杆连接件、连接套筒和至少一个连接轴承，螺杆连接件套设于旋转螺杆的外侧，螺杆连接件与旋转螺杆螺纹连接，连接套筒的延伸方向与旋转螺杆的延伸方向相交，旋转螺杆沿第一方向贯穿连接套筒，连接套筒沿第二方向上的至少一端设有连接轴承；旋转螺母座沿第二方向上的至少一端转动连接所述连接轴承；旋转座与旋转螺杆沿第三方向间隔设置，旋转座连接于旋转螺母座的另一端；本申请能够减少运动误差，提高运动精度。

本发明授权运动调节机构及晶圆检测系统在权利要求书中公布了：1.一种运动调节机构，其特征在于，所述运动调节机构应用于晶圆检测系统，所述运动调节机构包括旋转组件，所述旋转组件包括：旋转驱动件；旋转螺杆，所述旋转螺杆的一端连接所述旋转驱动件，所述旋转螺杆的另一端为自由端，所述旋转螺杆沿第一方向延伸；旋转连接组件，所述旋转连接组件包括螺杆连接件、连接套筒和至少一个连接轴承，所述螺杆连接件套设于所述旋转螺杆的外侧，所述螺杆连接件与所述旋转螺杆螺纹连接，所述连接套筒的延伸方向与所述旋转螺杆的延伸方向相交，所述旋转螺杆沿所述第一方向贯穿所述连接套筒，所述连接套筒沿第二方向上的至少一端设有所述连接轴承，所述第二方向与所述第一方向垂直；旋转螺母座，所述旋转螺母座沿第三方向设置，所述旋转螺母座沿所述第二方向上的至少一端连接所述连接轴承；及旋转座，所述旋转座与所述旋转螺杆沿所述第三方向间隔设置，所述旋转座连接于所述旋转螺母座的另一端；所述旋转驱动件驱动所述旋转螺杆转动，所述旋转连接组件在所述旋转螺杆的带动下沿所述旋转螺杆的轴向运动，以带动所述旋转螺母座及所述旋转座转动；所述运动调节机构还包括第一承载板及升降组件；所述旋转组件及所述升降组件设于所述第一承载板；所述升降组件包括升降台、升降导轨、升降驱动组件，所述升降台位于所述旋转座背离所述第一承载板的一侧，所述升降台随着所述旋转座转动；所述升降导轨沿所述第三方向设置，所述升降导轨贯穿所述旋转座与所述升降台，所述升降台滑动连接所述升降导轨；所述升降驱动组件包括升降驱动结构及升降传动结构，所述升降驱动结构与所述升降台相邻设置，所述升降传动结构的一端连接于所述升降驱动结构，所述升降传动结构的另一端连接所述升降台，所述升降驱动结构用于经所述升降传动结构驱动所述升降台升降；所述升降传动结构包括第一升降齿轮、第二升降齿轮、传动带、升降螺杆及升降螺母，所述第一升降齿轮与所述升降驱动结构同轴连接，所述第一升降齿轮与所述第二升降齿轮之间通过所述传动带传动，所述升降螺杆的一端与所述第二升降齿轮同轴连接，所述升降螺母与所述升降螺杆螺纹连接，所述升降螺母还固定连接所述升降台；所述运动调节机构还包括旋转感应件、第一传感器及第二传感器，所述旋转感应件连接所述旋转座，所述旋转感应件随着所述旋转座从第一转动位置旋转至第二转动位置；所述第一传感器与所述第二传感器沿与所述旋转座的转动弧线相平行的弧线间隔设置，所述第一传感器在所述旋转感应件位于所述第一转动位置时反馈检测信号；所述第二传感器在所述旋转感应件位于所述第二转动位置时反馈检测信号。

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