东莞锐信仪器有限公司陈峰获国家专利权
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龙图腾网获悉东莞锐信仪器有限公司申请的专利半导体封装结构、基板、器件以及制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN118943122B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-04-29发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202410987696.5,技术领域涉及:H01L23/538;该发明授权半导体封装结构、基板、器件以及制造方法是由陈峰;邹波设计研发完成,并于2024-07-23向国家知识产权局提交的专利申请。
本半导体封装结构、基板、器件以及制造方法在说明书摘要公布了:一种半导体封装结构、基板、器件以及制造方法,涉及半导体器件技术领域,半导体封装结构包括:重布线层与预制凸块;重布线层在靠近预制凸块的表面上形成有钝化层;预制凸块形成在钝化层上,预制凸块具有靠近钝化层的凸块底座以及远离钝化层的凸块尖端;预制凸块的深宽比为1:1~5:1;重布线层的金属层与预制凸块连接;其中,凸块尖端通过在玻璃衬底上的盲孔上填充导电材料形成,盲孔具有预设深宽比。通过在重布线层下形成预制凸块的封装结构,可以为重布线层提供支撑强度,具有预设深宽比的凸块尖端,可以适用于不同间距需求的封装,以满足未来高带宽、高密IO器件封装互联的需求。
本发明授权半导体封装结构、基板、器件以及制造方法在权利要求书中公布了:1.一种半导体封装结构,其特征在于,包括:重布线层(20)与预制凸块(10);所述重布线层(20)在靠近所述预制凸块(10)的表面上形成有钝化层(21);所述预制凸块(10)形成在所述钝化层(21)上,所述预制凸块(10)具有靠近所述钝化层(21)的凸块底座(12)以及远离所述钝化层(21)的凸块尖端(11);所述预制凸块(10)的深宽比为1:1~5:1;所述凸块尖端(11)的宽度小于所述凸块底座(12)的宽度;所述重布线层(20)的金属层(23)与所述预制凸块(10)连接;其中,所述重布线层(20)的金属垫(22)贯穿所述钝化层(21)与所述凸块底座(12)固定连接;其中,所述凸块尖端(11)通过在玻璃衬底(200)上的盲孔(101)上填充导电材料形成,所述盲孔(101)具有预设深宽比。
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