恭喜ASML荷兰有限公司W·T·特尔获国家专利权
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龙图腾网恭喜ASML荷兰有限公司申请的专利用于确定测量选配方案的方法和相关联的设备获国家发明授权专利权，本发明授权专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN114902140B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-10发布的发明授权授权公告中获悉：该发明授权的专利申请号/专利号为：202080088939.1，技术领域涉及：G03F7/20；该发明授权用于确定测量选配方案的方法和相关联的设备是由W·T·特尔;A·J·范莱斯特设计研发完成，并于2020-12-17向国家知识产权局提交的专利申请。
本用于确定测量选配方案的方法和相关联的设备在说明书摘要公布了：披露了一种用于确定测量选配方案的方法，所述测量选配方案描述用于对来自经受蚀刻引发的参数误差影响的衬底的所关注的参数进行测量的测量设定，所述蚀刻引发的参数误差以取决于选配方案的方式影响对所述所关注的参数的测量。所述方法包括：获得与对至少一个调试衬底的测量有关的所关注的参数的调试数据，所述至少一个调试衬底上的所述所关注的参数具有多种第一引发调整值；以及获得与对至少一个调试衬底的测量有关的蚀刻引发的参数的调试数据，所述至少一个调试衬底上的所述蚀刻引发的参数具有多种第二引发调整值。确定所述选配方案以最小化所述蚀刻引发的参数对于对所述所关注的参数的测量的影响。
本发明授权用于确定测量选配方案的方法和相关联的设备在权利要求书中公布了：1.一种用于确定测量选配方案的方法，所述测量选配方案描述用于对来自经受蚀刻引发的参数误差影响的衬底的所关注的参数进行测量的测量设定，所述蚀刻引发的参数误差以取决于选配方案的方式影响对所述所关注的参数的测量；所述方法包括：获得与对至少一个调试衬底的测量有关的所关注的参数的调试数据，所述至少一个调试衬底上的所述所关注的参数具有多种第一引发调整值；获得与对至少一个调试衬底的测量有关的蚀刻引发的参数的调试数据，所述至少一个调试衬底上的所述蚀刻引发的参数具有多种第二引发调整值；以及确定所述选配方案以最小化所述蚀刻引发的参数对于对所述所关注的参数的测量的影响。
如需购买、转让、实施、许可或投资类似专利技术，可联系本专利的申请人或专利权人ASML荷兰有限公司，其通讯地址为：荷兰维德霍温；或者联系龙图腾网官方客服，联系龙图腾网可拨打电话0551-65771310或微信搜索“龙图腾网”。
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2、报告中的分析和结论仅反映本公司于发布本报告当日的职业理解，仅供参考使用，不能作为本公司承担任何法律责任的依据或者凭证。
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