广东先导微电子科技有限公司王滔获国家专利权
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龙图腾网获悉广东先导微电子科技有限公司申请的专利一种清洗装置获国家实用新型专利权，本实用新型专利权由国家知识产权局授予，授权公告号为：CN222970489U 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-13发布的实用新型授权公告中获悉：该实用新型的专利申请号/专利号为：202421305584.9，技术领域涉及：B08B3/10；该实用新型一种清洗装置是由王滔;周铁军;毕宏岩设计研发完成，并于2024-06-07向国家知识产权局提交的专利申请。
本一种清洗装置在说明书摘要公布了：本实用新型涉及半导体生产技术领域，公开了一种清洗装置，具有第一方向，清洗装置包括基座和多个第一气管接头；所述基座凹陷设置有第一清洗槽，所述第一清洗槽用于容纳工件和清洗液；多个所述第一气管接头连接于所述基座并环绕所述第一清洗槽分布，所述第一气管接头具有第一气体通道，所述第一气体通道的两端分别具有第一进气口和第一出气口，所述第一出气口和所述第一清洗槽相连通；本实用新型所提供的清洗装置通过设置容置工件及清洗液的第一清洗槽并环绕第一清洗槽设置多个第一气管接头，能够较为全面的清洗工件，提高清洗效率和清洗质量。
本实用新型一种清洗装置在权利要求书中公布了：1.一种清洗装置，具有第一方向Z，其特征在于，包括： 基座1，所述基座1在所述第一方向Z上的一端凹陷设置有第一清洗槽11，所述第一清洗槽11用于容纳工件5和清洗液； 多个第一气管接头2，多个所述第一气管接头2连接于所述基座1并环绕所述第一清洗槽11分布，所述第一气管接头2具有第一气体通道21，所述第一气体通道21的两端分别具有第一进气口211和第一出气口212，所述第一出气口212和所述第一清洗槽11相连通； 其中，所述第一清洗槽11内的清洗液浸没所述工件，多个所述第一气管接头2能够分别在多个位置向所述第一清洗槽11内通入气体，以扰动所述第一清洗槽11内的清洗液。
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