恭喜华虹半导体(无锡)有限公司丁浩获国家专利权
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龙图腾网恭喜华虹半导体(无锡)有限公司申请的专利闪存器件的制造方法获国家发明授权专利权,本发明授权专利权由国家知识产权局授予,授权公告号为:CN114038853B 。
龙图腾网通过国家知识产权局官网在2025-06-20发布的发明授权授权公告中获悉:该发明授权的专利申请号/专利号为:202111344997.9,技术领域涉及:H10B41/30;该发明授权闪存器件的制造方法是由丁浩;熊伟;陈华伦设计研发完成,并于2021-11-15向国家知识产权局提交的专利申请。
本闪存器件的制造方法在说明书摘要公布了:本发明提供一种闪存器件的制造方法,包括以下步骤:硅衬底上方制作形成浮栅多晶硅、控制栅多晶硅;在控制栅多晶硅的上方形成第一氧化层;制作字线多晶硅和氮化硅本发明在制作控制栅多晶硅后在CG表面氧化一层氧化层,该氧化层作为阻挡层保护CG不被H3PO4腐蚀,从而避免浮栅多晶硅残留,以解决闪存期间的单比特无法擦写的问题。
本发明授权闪存器件的制造方法在权利要求书中公布了:1.一种闪存器件的制造方法,其特征在于,包括以下步骤: 硅衬底上方制作形成浮栅多晶硅、控制栅多晶硅; 在所述控制栅多晶硅的上方形成第一氧化层; 制作字线多晶硅和氮化硅; 去除存储单元区域的所述氮化硅。
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