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由基于硅的材料制成的宝玑双层游丝 

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申请/专利权人:蒙特雷布勒盖股份有限公司

摘要:本发明涉及一种基于硅的宝玑双层游丝1,31,该宝玑双层游丝1,31包括细弹簧3,33、末端弯曲7,37和提升装置9,39,该细弹簧3,33与内桩5,35同轴地形成一体,该提升装置9,39位于所述细弹簧的外圈15,45和所述末端弯曲之间。根据本发明,该游丝具有相互固定在一起的两个单独部件,以提高所述游丝的扩展精度。本发明还涉及制造所述游丝的方法。本发明涉及时计机芯领域。

主权项:一种宝玑双层游丝1的制造方法71,包括以下步骤:a提供70第一衬底,该第一衬底包括基于硅的顶层和底层,该顶层和底层通过中间层相互连接在一起;b在顶层中选择性地蚀刻72至少一个凹腔,以限定末端弯曲7;其特征在于,所述方法还包括以下步骤:c在底层中选择性地蚀刻72至少一个凹腔,以限定至少一个立柱17,该至少一个立柱连接到末端弯曲7的一端23;d提供70具有基于硅的层的第二衬底;e在所述第二衬底的层中选择性地蚀刻74至少一个凹腔,以限定与细弹簧3同轴地形成一体的内桩5,该细弹簧的外圈15包括至少一个凹部19;f将所述至少一个立柱组装77在所述至少一个凹部中,以形成宝玑双层游丝1。

全文数据:

权利要求:

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