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申请/专利权人：重庆康佳光电技术研究院有限公司
摘要：本实用新型涉及一种HMDS供应装置，该供应装置包括：暂存容纳腔、雾化管、稀释管以及输出管；在暂存容纳腔内暂存液态HMDS的情况下；雾化管，伸入暂存容纳腔的液态HMDS内，被配置为向暂存容纳腔内通入发泡气体以将液态HMDS发泡形成雾化HMDS；稀释管，伸入暂存容纳腔内，稀释管被配置为向暂存容纳腔通入稀释气体以降低暂存容纳腔内雾化HMDS的浓度；输出管，伸入暂存容纳腔内，被配置为将雾化HMDS输出，该HMDS供应装置中，稀释管提供稀释气体降低了雾化HMDS的浓度，有效减少了HMDS的用量，通过输出管将降低浓度的雾化HMDS输出用于涂布，从而提升了HMDS涂布的均匀性。
主权项：1.一种HMDS供应装置，其特征在于，所述供应装置包括：暂存容纳腔、雾化管、稀释管以及输出管；在所述暂存容纳腔内暂存液态HMDS的情况下；所述雾化管，伸入所述暂存容纳腔的所述液态HMDS内，被配置为向所述暂存容纳腔内通入发泡气体以将所述液态HMDS发泡形成雾化HMDS；所述稀释管，伸入所述暂存容纳腔内，且所述稀释管的出气口位于所述液态HMDS的液面以上，所述稀释管被配置为向所述暂存容纳腔通入稀释气体以降低所述暂存容纳腔内所述雾化HMDS的浓度；所述输出管，伸入所述暂存容纳腔内，被配置为将所述雾化HMDS输出。
全文数据：
权利要求：
百度查询： 重庆康佳光电技术研究院有限公司 一种HMDS供应装置
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