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HMDS供应装置 

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申请/专利权人:绍兴中芯集成电路制造股份有限公司

摘要:本实用新型提供了一种HMDS供应装置,包括:发泡罐,用于存储液态HMDS的发泡罐;HMDS供应管道,与发泡罐连接,用于向发泡罐输入液态HMDS;发泡气体输入管道,伸入所述液态HMDS内,用于通入发泡气体以将液态HMDS发泡形成气态HMDS,包括:由发泡罐外引入发泡罐内部的引入管,及与引入管连接并位于发泡罐的底部的螺旋管,且螺旋管上具有若干孔洞;以及,气态HMDS输出管道,与发泡罐的顶盖连接,用于将发泡罐中的气态HMDS输出至工艺腔内。本实用新型通过在发泡罐底部设置带有若干孔洞的螺旋管,发泡气体通过若干孔洞在发泡罐的底部同步吹气,提高了液态HMDS的雾化效果。

主权项:1.一种HMDS供应装置,其特征在于,包括:发泡罐,用于存储液态HMDS;HMDS供应管道,与所述发泡罐连接,用于向所述发泡罐输入液态HMDS;发泡气体输入管道,伸入所述发泡罐中的所述液态HMDS内,用于通入发泡气体以将所述液态HMDS发泡形成气态HMDS,包括:由所述发泡罐外引入所述发泡罐内部的引入管,及与所述引入管连接并位于所述发泡罐的底部的螺旋管,且所述螺旋管上具有若干孔洞;以及,气态HMDS输出管道,与所述发泡罐的顶盖连接,用于将所述发泡罐中的气态HMDS输出至工艺腔内。

全文数据:

权利要求:

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